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真空爐的真空度測量

2021-03-24  瀏覽（lǎn）：1840次

　　真空測量是真（zhēn）空技術（shù）中的一個重（chóng）要組成部分。用於測（cè）量真空（kōng）度的儀器（qì）稱為真空計。  真空熱（rè）處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空（kōng）計電（diàn）離真空計等。它們的工作（zuò）原理如下：

　　（一）熱偶真空計

　　熱偶真空計由敏（mǐn）感元件、熱偶規管和測量（liàng）儀器組成。熱偶規管與被（bèi）測真空係統相通，外殼為玻璃（lí）管，管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由於溫（wēn）差效應，在回路（lù）中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱（rè）偶絲　　的電勢限決於加熱絲的（de）溫度（dù），而加熱絲的（de）溫度（dù）與被測氣體的壓強（qiáng）有關。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大（dà）；反之，則熱電勢減少（shǎo）。回路中（zhōng）的熱電勢用毫伏表測量，表中的毫伏數即反映出真空

　　度的高（gāo）低。為了保證加（jiā）熱絲的電壓穩（wěn）定，而接入了穩壓電源。所以（yǐ）測量儀（yí）器是由測量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓電（diàn）源兩部分組（zǔ）成。

　　（二）電離真（zhēn）空計

　　這種真空計主（zhǔ）要用於測量高真空度。在低壓強氣（qì）體中，氣體分子被電離生成的正離子數與氣（qì）體壓強成正比按照離產生的方法不（bú）同，利用（yòng）熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其（qí）中（zhōng），熱陰極電離真空計由熱陰極規管和（hé）測量儀器組成。測量（liàng）儀器（qì）由規管（guǎn）工作電（diàn）源、發射電流穩壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱（rè）陰（yīn）極電離（lí）規管與被（bèi）測真空係統（tǒng）相通。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對（duì）於陰極電負電位；柵極相對於陰（yīn）極電正（zhèng）電位。當電離規管通電加（jiā）熱後，陰極（jí）發射電子，在電子到達柵極的（de）過程中（zhōng），與氣體分子碰撞而產生正離（lí）子和電子的電離現象。當（dāng）發射（shè）電流一定時，正離子數日與（yǔ）被測氣體壓強成正比。正離子（zǐ）被（bèi）收集極收集後，經測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

　　（三）複合真空計

　　通常，對低真空和高真空的測量不能用一（yī）種真空計來完成，而應（yīng）采用複合真（zhēn）空計（jì），應用（yòng）較多的（de）是電離與熱偶式（shì）複合真空計（jì）。它的測量（liàng）範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真（zhēn）空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的（de）低（dī）真空；電離真（zhēn）空計測量（liàng）133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。複合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管（guǎn），分（fèn）別接在真空係統上，通過旋鈕可分別給兩個規管加熱，並選擇使用。


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